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微機械

見微知著,精確感知。微機械器件是具有三維特征和復雜特征的微型機械結構裝置,尺寸以微米為單位,微傳感器是其中重要的前端部分,可用于檢測各種物理量。隨著機械工程、電子工程、材料科學等學科的綜合發展,加之微納3D打印技術的日趨完善,有助于科研人員在微機械領域獲得更多的突破性研究進展。

應用案例

CA-100A(氧化鋁)微齒輪

  • 10 μm

    光學精度

  • 130 μm

    尖端

  • 90 μm

    間距

CA-100A(氧化鋁)微齒輪

PμSL技術支持CA-100A(氧化鋁)陶瓷漿料打印,用于加工高精密陶瓷樣件,齒輪尖端130 μm,齒輪間距90μm

  • 10 μm

    光學精度

  • 130 μm

    尖端

  • 90 μm

    間距

3D蝴蝶結結構陣列

  • 2 μm

    光學精度

  • 40 μm

    特征尺寸

3D蝴蝶結結構陣列

整體尺寸5 x 5 x 0.5mm3,可覆蓋外爾半金屬薄膜,得到高靈敏度、有效探測面積大的太赫茲波探測器

  • 2 μm

    光學精度

  • 40 μm

    特征尺寸

微穹頂分級結構

  • 2 μm

    光學精度

  • 28 μm

    最小直徑

微穹頂分級結構

單個穹頂寬290μm,高480μm;次級微柱直徑28μm,高70μm;通過打印微穹頂分級結構模具,結合翻模可制備柔性壓力傳感器

  • 2 μm

    光學精度

  • 28 μm

    最小直徑

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